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PECVD系統是一種基于等(deng)(deng)離(li)子體化學氣相沉(chen)積(ji)技術的薄(bo)膜沉(chen)積(ji)設(she)備,能(neng)夠對各種材料進行薄(bo)膜沉(chen)積(ji),包(bao)括金屬、半導體、絕緣(yuan)體等(deng)(deng)。PECVD技術在微電子、光(guang)電、平板顯(xian)示、儲能(neng)等(deng)(deng)領域具有(you)重要的應用價值。