真空高溫管式爐

產品簡介

真(zhen)空(kong)高溫(wen)管(guan)式爐，多(duo)(duo)通(tong)道氣路系(xi)統(tong)和真(zhen)空(kong)系(xi)統(tong)組(zu)成，可根據用戶需要設計(ji)生產（有雙溫(wen)區(qu)、三溫(wen)區(qu)、多(duo)(duo)溫(wen)區(qu)），可預抽真(zhen)空(kong)（有高真(zhen)空(kong)、低真(zhen)空(kong)），通(tong)多(duo)(duo)種氣氛（供氣系(xi)統(tong)有質子流量(liang)器和浮子流量(liang)控(kong)制器）。性能可靠。控(kong)制電路選用模糊(hu)PID程控(kong)技術(shu)，具有控(kong)溫(wen)精度(du)高，溫(wen)沖幅度(du)小，性能可靠，簡(jian)單易操作等特點(dian)。

產品型號：

更新時間：2023-05-17

廠商性質：生產廠家

訪問量：1663

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產品分類

PRODUCT CLASSIFICATION

C系列氣相沉積爐

P系列真空熱壓爐中溫管式爐高溫管式爐多溫區管式爐滑軌式管式爐立式管式爐 CVD/PECVD系統旋轉式管式爐

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真空高溫管式爐，多通道氣路系統和真空系統組成，可根據用戶需要設計生產（有雙溫區、三溫區、多溫區），可預抽真空（有高真空、低真空），通多種氣氛（供氣系統有質子流量器和浮子流量控制器）。控制電路選用模糊PID程控技術，具有控溫精度高，溫沖幅度小，性能可靠，簡單易操作等特點。

一(yi)、1200℃單溫區(qu)管式(shi)爐

型號	爐管(guan)尺寸(mm)	加熱區長度(du)(mm)	恒溫區長度(mm)	加(jia)熱區外徑(jing)(mm)	zui高加熱溫度(℃)	持續工作溫度(du)(℃)	額(e)定功率(kw)	工作電源(V)
HTF1200-2.5/20	φ25*450	200	100	φ25	1200	1100	1.7	220
HTF1200-5/20	φ50*450	200	100	φ50	1200	1100	1.7	220
HTF1200-6/40	φ60*1000	400	150	φ60	1200	1100	3	220
HTF1200-8/40	φ80*1000	400	150	φ80	1200	1100	3	220
HTF1200-10/40	100*1000	400	150	φ100	1200	1100	3	220
HTF1200-6/90	φ60*1400	900	450	φ60	1200	1100	6	220
HTF1200-8/90	φ80*1400	900	450	φ80	1200	1100	6	220
HTF1200-10/90	100*1400	900	450	φ100	1200	1100	6	220
HTF1200-13/90	130*1400	900	450	φ130	1200	1100	6	220
HTF1200-15/90	150*1400	900	450	φ150	1200	1100	6	220
HTF1200-21/90	210*1400	900	450	φ210	1200	1100	6	220
HTF1200-28/90	280*1400	900	450	φ280	1200	1100	6	220

二、1200℃雙溫(wen)區管式爐

型號	爐管尺寸(mm)	加熱(re)區長度(mm)	恒溫區長度(mm)	加熱區(qu)外徑(mm)	zui高加(jia)熱溫(wen)度(du)(℃)	持續工作(zuo)溫(wen)度(du)(℃)	額(e)定功率(kw)	工作電(dian)源(V)
HTF1200-6/40-II	φ60*1000	400	200	φ60	1200	1100	4	220
HTF1200-8/40-II	φ80*1000	400	200	φ80	1200	1100	4	220
HTF1200-10/40-II	φ100*1000	400	200	φ100	1200	1100	4	220

三、1200℃三溫區管式爐

型號	爐管尺(chi)寸(mm)	加熱區長(chang)度(du)(mm)	恒溫(wen)區(qu)長度(mm)	加熱區外徑(mm)	zui高加(jia)熱溫度(℃)	持續工作溫度(℃)	額定(ding)功率(kw)	工作(zuo)電源(V)
HTF1200-6/60-III	φ60*1200	600	450	φ60	1200	1100	4	220
HTF1200-8/60-III	φ80*1200	600	450	φ80	1200	1100	4	220
HTF1200-10/60-III	100*1200	600	450	φ100	1200	1100	4	220
HTF1200-6/90-III	φ60*1400	900	600	φ60	1200	1100	9	220
HTF1200-8/90-III	φ80*1400	900	600	φ80	1200	1100	9	220
HTF1200-10/90-III	φ100*1400	900	600	φ100	1200	1100	9	220
HTF1200-13/90-III	φ130*1400	900	600	φ130	1200	1100	9	220
HTF1200-15/90-III	φ150*1400	900	600	φ150	1200	1100	9	220
HTF1200-21/90-III	φ210*1400	900	600	φ210	1200	1100	9	220
HTF1200-28/90-III	φ280*1400	900	600	φ280	1200	1100	9	220

四、1200℃五溫(wen)區管式爐

型號	爐管尺(chi)寸(cun)(mm)	加熱(re)區長度(mm)	恒溫區(qu)長(chang)度(mm)	加(jia)熱(re)區外徑(mm)	zui高加熱溫度(℃)	持續工作溫度(℃)	額定功率(kw)	工(gong)作電(dian)源(V)
HTF1200-6/90-V	φ60*1400	900	750	φ60	1200	1100	9	220
HTF1200-8/90-V	φ80*1400	900	750	φ80	1200	1100	9	220
HTF1200-10/90-V	φ100*1400	900	750	φ100	1200	1100	9	220
HTF1200-13/90-V	φ130*1400	900	750	φ130	1200	1100	9	220
HTF1200-15/90-V	φ150*1400	900	750	φ150	1200	1100	9	220
HTF1200-21/90-V	φ210*1400	900	750	φ210	1200	1100	9	220
HTF1200-28/90-V	φ280*1400	900	750	φ280	1200	1100	9	220